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新全自动晶圆分类pȝ
发表旉Q?009-10-15



   新全自动晶圆分类pȝ充分利用?jin)LabVIEWq_?qing)其配套工具包,该系l分为晶圆对准和量两个工作步骤。对准过E用线扫描囑փ采集方式?轴运动控Ӟ通过同步囑փ采集与底盘旋转速率Q在1U内完成整张晶片6百万象素的图像采集,自动变速器实训?/A>利用LabVIEW视觉法判断晶片中心(j)位置、^坦度和其它特性,据此调整晶圆位置实现其与参数量q_完全匚w。测量步骤要求对上下表面间距量的分辨率于0.0001mmQ其解决办法是在LabVIEWq_下应用NIq动控制工具生成qx的圆弧及(qing)螺旋轨迹l合Q精控制旋转中的晶片位|,使用NI数据采集卡完成多通道同步q行的探针高速、高密度量Q实时记录对应位|,据此q行相关计算处理Q获取各参C息,最l得出分cȝl果?
   除了(jin)以上的核?j)步骤外Q该pȝq包括了(jin)Q触摸屏人机界面Q基于RS-485通信的晶圆升降机控制Q用于光源、机器功率和真空讑֤的数字I/O控制Q以?qing)与Microsoft Access数据库连接以实现加工
家用?sh)器实验室设?/A>q程数字化加工。而这些功能,都是在LabVIEWq_下统一开发完成,Gigmat的经理这栯论“如果没有LabVIEW以及(qing)NI机器?
觉,q动控制和数据采集品的同步Q这个项目就不可能达到经可行”?
中央I实验讑֤NI紧凑型机器视觉系l帮助汽车火花塞(g)达?Sigma的重复性标?
中?sh)工甉|实训考核装置汽R火花塞的偏心(j)度和甉|间距是决定其性能的关键指标。过L领先的汽车火花塞刉商一直通过人工的方式对其进行测量,因ؓ(f)量_ֺ低,必须采用q于严格的品的公差带限ӞD不必要的生要求提高和量减。ؓ(f)?jin)保证可靠的质量控制Q更快的(g)速度和量的提高Q该刉商军_建立Z机器视觉的全扫描寸定量pȝ?
   pȝ由IEEE 1394相机、环形光源、坚固的NI CVS嵌入式机器视觉系l以?qing)LabVIEW软g开发^台构成。采集的火花塞图像通过火线传入CVSQ在其上q行实时的圆形边~检等Ҏ(gu)法Q而通过Ҏ(gu)采样的控制找到精度与处理旉的^衡点Q测量精度达?.01mmQ完全满?Sigma标准。随后,CVS通过其数字端口与生U上的PLC和?sh)器{设备通信Q完成不合格品的自动剔除工作Q免M(jin)人工q预。整个系l接入工厂以太网Q可以进行远E的模具C教陈列?/A>参数配置Q校准以?qing)品信息的记录。由于测试精度的提高Q放宽了(jin)公差范围Q大q提高(sh)(jin)产量和效率?
l论
机器视觉应用正由h时单U的囑փ采集、处理分析、结果判断输出,发展成ؓ(f)自动化系l重要组件之一。但是,相对人工(g)的方式机器视觉也存在着Ҏ(gu)性,一定程度上体现在其灉|性和应变能力的限制。处理的不合适的话,即一个看似很的新功能引入,都有可能Dpȝ的重新设计。面?A target=_blank>?sh)工技能及(qing)工艺实训考核装置
机器视觉集成度与灉|性与NӞ理想的工业Y件开发环境LabVIEW成ؓ(f)用户开发^台的非常好的选择。利用其中机器视觉模块包含的丰富分析与处理算法,用户可以Ҏ(gu)其具体需求定制开发或者简单升U相应的视觉功能Q更可以q种l一的图像化开发方式实现对q动控制Q可~程自动化控制器Q数据采集等讑֤与功能的开发,以及(qing)与三方的PLCQ工业设备和数据库Y件的无缝q接Q从而完成涵盖机器视觉功能在内的自动化系l的开发与集成。得益于q种pȝ构架Q制造商能够更方便的机器视觉功能引入到其生产线Q?A target=_blank>教学仪器降低?jin)其讑֤刉的技术难度,W合双踪CL?/A>机器视觉向着自动化系l一体化发展的趋ѝ?br>
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